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ラックマウント型 ペルチェ式小型チラー ThermoRack 1200 セミコン

TR1200

電子冷却式循環恒温槽は、温調ユニットにペルチェ・モジュールを使用しています。この方式の循環恒温槽には、コンプレッサー型恒温槽には無い特徴があります。

ThermoRack 1200セミコンは、主に半導体製造装置の冷却を目的とした、コンパクトなラックマウント型の循環恒温槽です。

(幅)480 x (奥行) 180 x (高さ) 508mmのコンパクトなデザインは、19″規格のラックにフィットしますので、装置内への組み込みにも最適です。

水冷式で、1,200Wの強力な冷凍能力を持ち、最大揚程20m、最大流量18L/分の強力な循環ポンプにより、効果的に除熱・冷却します。

200~240V-50/60Hzのユニバーサル電源を搭載していますので、どこででも使用することができます。液面低下警告など、安全装置は完備しています。USBコネクタを標準装備しています

特徴

  • 19″ラックにフィット
  • 装置がコンパクト (構成部品が小さい)
  • クイックな温調が可能 (通電方向を変えるだけで、冷却にも昇温にもなる)
  • 振動が少ない (コンプレッサーなど、稼動部品が無いため)
  • エネルギー効率が優れている (必要な通電量・通電方向で温度制御する)
  • マルチ電源で、どこでも使用可能 (85~230V-5060Hz)
  • 強力な循環ポンプ (最大圧力 2bar、最大流量 18L/分)

アプリケーション

  • レーザーユニットの冷却
  • プラズマ・エッチング装置の冷却
  • その他半導体製造装置の冷却

仕様

ThermoRack1200
コンデンサー冷却方式 水冷
温度範囲 -10…80℃
温度精度 ±0.05℃
ポンプ能力 最大流量 18L/分   2 bar
最大圧力
ヒーター容量 2,000W
冷却能力
(設定温度 – 環境温度(又は冷却水温))
0℃ 1,200W
寸法 幅x奥行x高さmm 480x180x508
バス容量 800ml
配管接続口径 1/2″スウェージロック
電源仕様 200~240V-50/60Hz

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